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半自動光刻機在高精度微加工中的實際應(yīng)用
半自動光刻機在高精度微加工中的實際應(yīng)用 2025-04-15

隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動光刻機,憑借其較高的性價比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動光刻機的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...

  • 有關(guān)脈沖激光沉積的發(fā)展歷程介紹 2021-12-22

    脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕,是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。發(fā)展歷程:脈沖激光沉積的發(fā)展與探究,處處受制。事實上,當時的激光科技還未成熟,可以得到的激光種類有限;輸出的激光既不穩(wěn)定,重復(fù)頻率亦太低,使任何實際的膜生成過程均不能付諸實行。因此,PLD在薄膜制作的發(fā)展比其它技術(shù)落后。以分子束外延(MBE)為例,制造出來的薄膜質(zhì)素就優(yōu)良得多。往后十年,由于激光科技的急速發(fā)展,提升了PLD的競爭能力。與早前的紅寶...

  • 深能級瞬態(tài)譜儀可用于光伏太陽能電池領(lǐng)域 2021-12-01

    深能級瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段。根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜(DLTS)的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜,是一種具有*檢測靈敏度(檢測靈敏度通常為半導(dǎo)體材料中摻雜濟濃度的萬分之一)的實驗方法,能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS譜。集成多種全自動的測量模式...

  • 磁控濺射的工作原理及產(chǎn)品優(yōu)勢 2021-11-25

    磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用,產(chǎn)生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表...

  • 選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié) 2021-11-22

    勻膠機其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。從其原理來說,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié):1、旋轉(zhuǎn)速度轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲...

  • 氣溶膠發(fā)生器使用難題方案 2021-11-20

    在許多實際試驗中,需要使用氣溶膠發(fā)生器,以固定的粒徑分布連續(xù)穩(wěn)定地產(chǎn)生濃度可調(diào)的氣溶膠粒子。氣溶膠主要是用特殊的噴嘴設(shè)計的。壓縮空氣通過一個圓形槽被吹入霧化液體。噴氣口與液體之間的剪切力在所謂的環(huán)形間隙中充分分散,形成微小的氣溶膠粒子,慣性對撞機體積較大。當氣溶膠顆粒返回液體容器時,輸出顆粒尺寸主要分布在0.1到10微米之間。適用于醫(yī)療器械檢驗機構(gòu)、疾病預(yù)防控制中心、醫(yī)院、制藥企業(yè)、高效過器生產(chǎn)企業(yè)等潔凈室、高效過濾器的檢漏。然而新手在使用儀器時都會遇到一些問題,下面我們來仔...

  • 快速動力學(xué)停流裝置能提供高質(zhì)量數(shù)據(jù) 2021-09-27

    快速動力學(xué)停流裝置為樣品經(jīng)濟性設(shè)定了新的標準,只需要120微升的樣品進行沖洗、裝載和收集數(shù)據(jù),同時進行3-4次重復(fù)測量,沖洗和樣品裝入均自動完成,只需將120微升的溶液移到每個樣品杯中,在設(shè)計這種儀器的過程中,我們還增加了新的降噪電路,以改善信號。裝置用于數(shù)據(jù)收集和分析,給予的方便使用和功率,在消耗較少的樣本和較少的時間的同時,為您提供更高質(zhì)量的數(shù)據(jù),可選的機器人自動取樣器增加了吞吐量甚至更多,以負擔每天數(shù)百個樣品的無人值守的停止流動測量??焖賱恿W(xué)停流裝置主要特點:1.恒溫...

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