隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動(dòng)光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動(dòng)光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...
手動(dòng)探針臺(tái):手動(dòng)探針臺(tái)是手動(dòng)控制的,這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái)。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要最少的培訓(xùn),易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn),非常適合研發(fā)人員使用。半自動(dòng)探針臺(tái):半自動(dòng)探針臺(tái)是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,于2004年3月17日啟用。支持4,5,6寸wafer分辨...
鹽霧氣溶膠發(fā)生器因其自身的優(yōu)勢(shì)廣泛應(yīng)用于制藥行業(yè)過濾器的檢漏。其用于潔凈室和密閉系統(tǒng)高效和較高效空氣過濾器系統(tǒng)的檢測(cè)。還可以在潔凈空氣和密閉工業(yè)部門用于氣流流型、自凈時(shí)間測(cè)定和泄漏測(cè)試。使用惰性氣體(通常是CO2)通過加熱器推動(dòng)油氣化。在介紹氣溶膠光度計(jì)的它配合氣溶膠發(fā)生器,一起對(duì)高效過濾器檢漏。因?yàn)橐诟咝н^濾器的上游增加發(fā)塵,就需要使用到氣溶膠發(fā)生器,使用的是堅(jiān)固耐用的不銹鋼結(jié)構(gòu),寬大的填充口,獨(dú)立的噴嘴控制。如過濾器驗(yàn)證商,政府和商用核設(shè)施,制藥廠,醫(yī)藥設(shè)施等領(lǐng)域都能得...
在使用狹縫擠出式涂布機(jī)完畢工作中后與塑料水塔,泵一起清洗。要*去除乙酸乙酯的膠是非常艱難的。小量的強(qiáng)力膠殘存在擦抹輥上,會(huì)壅閉。那么,涂布機(jī)應(yīng)該如何清洗呢?清洗狹縫擠出式涂布機(jī)后應(yīng)留意:1、洗衣粉sp-751酸溶液,實(shí)際操縱時(shí)務(wù)必戴上膠皮手套,護(hù)目鏡,防護(hù)口罩等防護(hù)裝備。2、乙酸乙酯5-11的使用,如沒有臟東西的修復(fù)仍然能夠在流程6-8使用。3、洗滌液對(duì)金屬材料有侵蝕。假設(shè)涂層被有涂勝過1小時(shí)的洗滌液,它將有可能離開鉻涂層輥,這務(wù)必在1小時(shí)內(nèi)舉行。狹縫擠出式涂布機(jī)實(shí)際操縱流程...
一、磁控濺射概述磁控濺射是物理氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),而上世紀(jì)70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場(chǎng),利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。二、基本概念濺射:用荷能粒子轟擊固體表面時(shí),固體表面原子受到荷能粒子碰撞,有可能獲得足夠的能量和動(dòng)量,并從表面逸...
近年來,由于脈沖激光技術(shù)的發(fā)展日趨成熟,脈沖激光沉積(PLD)在薄膜制備領(lǐng)域的應(yīng)用已經(jīng)成為研究的熱點(diǎn)。由于脈沖激光具有高能量峰值以及短脈寬,燒蝕靶材時(shí)會(huì)濺射出大量復(fù)雜的微納粒子形成等離子體,等離子體在真空或背景氣體中經(jīng)過定向膨脹后到達(dá)基底,在基底上形成產(chǎn)物,因此利用PLD技術(shù)可以在基底上沉積特定成分和微納結(jié)構(gòu)的薄膜。脈沖激光沉積技術(shù)能夠制備類型廣泛且性能優(yōu)異的功能薄膜,因此目前被廣泛地應(yīng)用到光電、新能源、生物、超導(dǎo)、電子封裝、催化、傳感等領(lǐng)域。1、光電領(lǐng)域近年來,PLD制備二...
當(dāng)磁控濺射鍍膜機(jī)出現(xiàn)故障后應(yīng)先要向使用者了解故障的現(xiàn)象,之后要親自開機(jī)觀察故障,這樣才能更準(zhǔn)確、更快、更合理地排除故障。排除故障應(yīng)先檢測(cè)低真空是否正常(機(jī)械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發(fā)室),低真空正常后再開主泵,主泵正常后檢測(cè)下室真空中是否正常,下室真空正常再開高閥進(jìn)行高真空檢測(cè)檢漏,直至達(dá)到真空,極限真空、保真空、恢復(fù)真空,如極限真空和保真空正常,而恢復(fù)真空和真空不正常則可能主泵有問題。今天給大家列舉一些磁控濺射鍍膜機(jī)使用過程中常見的故障和解決方法,希望能幫助大家!一、當(dāng)正...
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