手動(dòng)探針臺(tái)：手動(dòng)探針臺(tái)是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái)。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要最少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。
 
半自動(dòng)探針臺(tái)：半自動(dòng)探針臺(tái)是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，于2004年3月17日啟用。支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4個(gè)SMU接口，可同時(shí)輸出(測量)四路直流信號(hào)。 每個(gè)SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。通過和外接的測試儀器4156C以及溫度控制設(shè)備TP03000A的連接，組成一個(gè)測試平臺(tái)，完成對(duì)器件封裝前的電性能測試(電阻，C/V,擊穿特性等)。